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采用適合工藝技術(shù)制造硅MEMS振蕩器
MEMS振蕩器商用化的一個(gè)最大障礙是開(kāi)發(fā)一種經(jīng)濟并足夠純凈的密閉封裝系統。本文展示了一種適用于MEMS振蕩器的制造工藝,以及一組可與傳統的石英晶體技術(shù)相媲美的測量數據。這些測量數據是目前為止得到的最穩定的MEMS振蕩器數據。
2008-10-09
純凈 振蕩 頻率 穩定
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固態(tài)混合電勢氣體傳感器的原理和應用
以混合電勢響應為基礎的固態(tài)高溫氣體傳感器為各種還原性氣體提供了一種簡(jiǎn)單快速并且低成本的原位在線(xiàn)測量。這些傳感器響應機理因電極材料、電極微觀(guān)形貌等不同而有所變化,主要分為混合電勢與被測氣體濃度呈對數關(guān)系或者線(xiàn)性關(guān)系兩種類(lèi)型。其響應行為取決于電極反應的Butler-Volmer動(dòng)力學(xué)方程的具體...
2008-10-09
混合電勢 氧化 還原 傳感器
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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監測、航空航天等方面發(fā)揮著(zhù)不可替代的作用。本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器,整個(gè)流程工藝簡(jiǎn)單標準,薄膜材料選擇單晶硅,采用接觸式結構,利用陽(yáng)極鍵合形成真空腔,最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜并由試驗結...
2008-10-09
電容式壓力傳感器 敏感薄膜 KOH腐蝕
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表面橫波生物傳感器的靈敏度分析
近年來(lái)在生物檢測研究方面,聲表面波傳感器因具有體積小、重量輕、性能穩定、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)受到廣泛關(guān)注。本文將推導靈敏度、加工等方面對表面橫波傳感器靈敏度的影響,并進(jìn)行相關(guān)分析。
2008-10-09
表面橫波傳感器 柵陣 生物檢測
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MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設計與制作
本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設計原理及軟件模擬結果,并依據理論與模擬結果設計了工藝流程,對設計的懸梁式測風(fēng)傳感器進(jìn)行了測量。
2008-10-08
MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器 ANSYS CFD 工藝制作
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4G CMOS成像器提高安全性能
CMOS成像更新?lián)Q代越來(lái)越快,目前正開(kāi)始經(jīng)歷第四代。本文描述了CMOS成像器在汽車(chē)市場(chǎng)的用途、4G CMOS成像器的安全性能及其在汽車(chē)方面的潛在市場(chǎng)。
2008-10-08
CMOS成像 CCD 車(chē)用市場(chǎng)
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汽車(chē)電子如何推動(dòng)無(wú)源器件發(fā)展
隨著(zhù)汽車(chē)電子化、信息化的深入,以MCU為代表的有源器件在汽車(chē)上的應用日益增多,不過(guò)同時(shí),汽車(chē)上應用的無(wú)源器件也在增加,以傳感器為例,“1980年汽車(chē)中傳感器的數量平均為20個(gè),預計到2010年汽車(chē)中傳感器的平均數量將增加到150個(gè)?!边@是村田制作所株式會(huì )社事業(yè)部長(cháng)宮崎二郎在村田汽車(chē)研討會(huì )上透露...
2008-10-06
汽車(chē)電子 無(wú)源器件 電容器 傳感器 電阻 電感
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基于熱釋電傳感器p7187的人體測溫儀的設計
熱釋電紅外探測器是由熱釋電紅外傳感器、菲涅耳透鏡及電子電路組成的一種光電檢測裝置。它能無(wú)接觸地檢測人體運動(dòng)時(shí)輻射出的紅外線(xiàn)并轉換成電信號輸出。本文介紹了一種用于快速測量人體體溫的p7187熱釋電傳感器的原理及其基本設計電路。
2008-10-05
熱釋電紅外傳感器 p7187 人體表面溫度
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基于集成壓力傳感器的無(wú)源胎壓監控系統研究
近代如何防止爆胎已成為安全駕駛的一個(gè)重要課題,保持標準的車(chē)胎氣壓和及時(shí)發(fā)現車(chē)胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵,而汽車(chē)輪胎壓力監視系統將是預防爆胎的理想工具。本文描述了胎壓監控的基本原理,給出無(wú)源TPMS磁場(chǎng)電磁耦合和直接胎壓監控系統設計與分析方案,在分析了輪胎壓力監摔系統的原理及各種不同解...
2008-10-05
胎壓監控 直接系統 間接系統 電感耦合
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